Принос чипа у индустрији производње чипова је уско повезан са величином и бројем ваздушних честица депонованих на чипу.Добра организација протока ваздуха може одвести честице настале из извора прашине из чисте просторије и осигурати чистоћу чисте просторије.Односно, организација протока ваздуха у чистој просторији игра виталну улогу у приносу производње чипова.Циљеви које треба постићи у пројектовању организације протока ваздуха чисте просторије су: смањити или елиминисати вртложне струје у пољу струјања како би се избегло задржавање штетних честица;да би се одржао одговарајући градијент позитивног притиска како би се спречила унакрсна контаминација.
Према принципу чисте собе, силе које делују на честице укључују силу масе, молекуларну силу, привлачење између честица, силу протока ваздуха итд.
Сила струјања ваздуха: односи се на силу протока ваздуха узроковану протоком ваздуха доводног и повратног, топлотном конвекцијом ваздуха, вештачким мешањем и другим протоком ваздуха са одређеном брзином протока за ношење честица.За контролу технологије животне средине чисте просторије, сила протока ваздуха је најважнији фактор.
Експерименти су показали да у кретању протока ваздуха, честице прате проток ваздуха скоро потпуно истом брзином.Стање честица у ваздуху је одређено дистрибуцијом струјања ваздуха.Главни ефекти струјања ваздуха на честице у затвореном простору укључују: проток ваздуха доводног ваздуха (укључујући примарни проток ваздуха и секундарни ток ваздуха), проток ваздуха и топлотну конвекцијску струју изазвану ходањем људи, и утицај струјања ваздуха на честице изазване процесним операцијама и индустријском опремом.Различите методе довода ваздуха, интерфејси брзине, оператери и индустријска опрема, индуковане појаве, итд у чистим просторијама су фактори који утичу на ниво чистоће.
1. Утицај начина довода ваздуха
(1) Брзина довода ваздуха
Да би се обезбедио равномеран проток ваздуха, брзина довода ваздуха у чистој просторији са једносмерним протоком мора бити уједначена;мртва зона на површини довода ваздуха мора бити мала;а пад притиска унутар хепа филтера такође мора бити уједначен.
Брзина довода ваздуха је уједначена: то јест, неравномерност протока ваздуха се контролише унутар ±20%.
Мање је мртвог простора на површини за довод ваздуха: не само да би требало смањити равну површину хепа оквира, већ би, што је још важније, требало користити модуларни ФФУ за поједностављење редундантног оквира.
Да би се обезбедило да проток ваздуха буде вертикално и једносмерно, избор пада притиска филтера је такође веома важан, и потребно је да губитак притиска унутар филтера не може бити пристрасан.
(2) Поређење између система ФФУ и система вентилатора аксијалног протока
ФФУ је јединица за довод ваздуха са вентилатором и хепа филтером.Центрифугални вентилатор ФФУ усисава ваздух и претвара динамички притисак у статички притисак у ваздушном каналу.Хепа филтер га равномерно издувава.Притисак довода ваздуха на плафон је негативан притисак.На овај начин прашина неће процурити у чисту просторију приликом замене филтера.Експерименти су показали да је систем ФФУ супериорнији у односу на систем вентилатора аксијалног протока у погледу униформности излаза ваздуха, паралелизма протока ваздуха и индекса ефикасности вентилације.То је зато што је паралелизам протока ваздуха ФФУ система бољи.Употреба ФФУ система може побољшати организацију протока ваздуха у чистој просторији.
(3) Утицај сопствене структуре ФФУ
ФФУ се углавном састоји од вентилатора, филтера, водича за проток ваздуха и других компоненти.Хепа филтер је најважнија гаранција за чисту просторију за постизање захтеване чистоће коју захтева дизајн.Материјал филтера ће такође утицати на уједначеност поља протока.Када се груби филтерски материјал или проточна плоча додају на излаз филтера, излазно поље протока може се лако учинити униформним.
2. Утицај интерфејса брзине са различитом чистоћом
У истој чистој просторији, између радног и нерадног простора са вертикалним једносмерним струјањем, због разлике у брзини ваздуха на хепа кутији, на интерфејсу ће се јавити мешовити вртложни ефекат и овај интерфејс ће постати турбулентан. зона струјања ваздуха.Интензитет ваздушне турбуленције је посебно јак, а честице се могу пренети на површину машине опреме и контаминирати опрему и плочице.
3. Утицај на особље и опрему
Када је чиста соба празна, карактеристике протока ваздуха у просторији генерално испуњавају захтеве дизајна.Када опрема уђе у чисту просторију, људи се крећу и производи се транспортују, неизбежно постоје препреке за организацију протока ваздуха, као што су оштри врхови који вире из машине за опрему.На угловима или ивицама, гас ће се преусмерити и формирати турбулентну област протока, а флуид у том подручју неће бити лако однесен долазним гасом, што ће изазвати загађење.
У исто време, површина механичке опреме ће се загрејати услед непрекидног рада, а температурни градијент ће изазвати подручје рефлов у близини машине, што повећава акумулацију честица у области рефлов.Истовремено, висока температура ће лако проузроковати да честице побегну.Двоструки ефекат интензивира укупни вертикални слој.Тешкоћа контроле чистоће потока.Прашина од оператера у чистој просторији може лако да се залепи за плочице у овим областима за преливање.
4. Утицај пода повратног ваздуха
Када је отпор повратног ваздуха који пролази кроз под различит, доћи ће до разлике у притиску, што доводи до тога да ваздух струји у правцу малог отпора и неће се постићи равномеран проток ваздуха.Тренутна популарна метода дизајна је коришћење повишеног пода.Када је однос отварања повишеног пода на 10%, брзина струјања ваздуха се може равномерно распоредити на унутрашњу радну висину.Поред тога, треба посветити строгу пажњу радовима на чишћењу како би се смањио извор загађења на поду.
5. Феномен индукције
Такозвани индукциони феномен се односи на феномен стварања струјања ваздуха у супротном смеру од равномерног струјања, изазивајући прашину која се ствара у просторији или прашину у суседним контаминираним областима на страну према ветру, узрокујући тако да прашина контаминира плочицу.Могући индуковани феномени укључују следеће:
(1) Слепа плоча
У чистој просторији са вертикалним једносмерним струјањем, због спојева на зиду, углавном постоје велике слепе плоче које ће произвести турбулентно струјање и локални повратни ток.
(2) Лампе
Расвјетна тијела у чистој просторији ће имати већи утицај.Пошто топлота флуоресцентне лампе изазива пораст протока ваздуха, флуоресцентна лампа неће постати турбулентно подручје.Генерално, лампе у чистој просторији су дизајниране у облику сузе како би се смањио утицај лампи на организацију протока ваздуха.
(3) Прозори између зидова
Када постоје празнине између преградних зидова или плафона са различитим захтевима за чистоћом, прашина из области са ниским захтевима за чистоћом може се пренети у суседне области са високим захтевима за чистоћом.
(4) Удаљеност између механичке опреме и пода или зида
Ако је јаз између механичке опреме и пода или зида мали, доћи ће до повратне турбуленције.Због тога оставите размак између опреме и зида и подигните платформу машине како бисте избегли директан контакт са земљом.
Време поста: 02.11.2023