Принос чипа у индустрији производње чипова уско је повезан са величином и бројем честица ваздуха депонована на чипу. Добра организација протока ваздуха може да се честице настане од извора прашине далеко од чисте собе и обезбедите чистоћу чистоће. Односно, организација протока ваздуха у чистоћној соби игра виталну улогу у приносу производње чипова. Циљеви који се постижу у дизајну организације протока чистог собе су: да се смањи или уклањају едди струје у области протока да бисте избегли задржавање штетних честица; Да бисте одржали одговарајући градијент позитивног притиска како би се спречило унакрсно контаминација.
Према принципу чисте собе, снаге које делују на честице укључују масовну силу, молекуларна сила, атракција између честица, протока ваздуха итд.
Високов протока ваздуха: Односи се на снагу протока ваздуха узроковано напајањем и враћам протоком ваздуха, термичким конвекцијским протоком ваздуха, вештачке мешање и других ваздушних токова са одређеном брзином протока за одређену протоку за ношење честица. За чисту собу Контрола еколошке технологије, снага протока ваздуха је најважнији фактор.
Експерименти су показали да у покрету протока ваздуха, честице прате проток ваздуха на готово потпуно исту брзину. Стање честица у ваздуху одређује се дистрибуцијом протока ваздуха. Главни ефекти протока ваздуха на унутрашњу количину ваздуха укључују ваздушни проток ваздуха (укључујући примарни проток ваздуха и секундарно проток ваздуха и проток ваздуха и термички концикат проток протока људи који проузрокују људи који ходају и утицај протока ваздуха на честице на честице и индустријска опрема. Различите методе снабдевања ваздухом, интерфејси брзине, оператери и индустријска опрема, изазвани појаве итд. Цлеине собе су сви фактори који утичу на ниво чистоће.
1. Утицај начина снабдевања ваздухом
(1) Брзина снабдевања ваздухом
Да би се осигурао уједначен проток ваздуха, брзина снабдевања ваздухом у једнократној проточној соби мора бити уједначена; Мртва зона на површини снабдевања ваздухом мора бити мала; А пад притиска унутар ХеПА филтра такође мора бити уједначен.
Брзина снабдевања ваздухом је уједначена: односно неравнина протока ваздуха контролише се у оквиру ± 20%.
Мање је мртвог простора на површини снабдевања ваздухом: не само да се равна површина ХЕПА фрама смањи, али што је још важније, модуларни ФФУ треба користити за поједностављење редундантанског оквира.
Да би се осигурало да је проток ваздуха вертикално и једносмерно, избор притиска филтера је такође веома важно и потребно је да губитак притиска унутар филтера не може бити пристрасан.
(2) Поређење између ФФУ система и систем вентилатора за аксијални проток
ФФУ је јединица за снабдевање ваздухом са вентилатором и хепа филтром. Зрак је усисани центрифугалним обожаватељем ФФУ-а и претвара динамички притисак у статички притисак у ваздушном каналу. Равномерно га разваљен хепа филтром. Притисак ваздуха на плафон је негативан притисак. На овај начин неће процурити прашину у чисте собу приликом замене филтера. Експерименти су показали да је ФФУ систем супериорнији од система вентилатора аксијалног протока у погледу униформности ваздуха, паралелизмом протока ваздуха и индекс ефективности вентилације. То је зато што је паралелизам протока ваздуха ФФУ система бољи. Употреба ФФУ система може побољшати организацију протока ваздуха у чистој соби.
(3) Утицај сопствене структуре ФФУ-а
ФФУ се углавном састоји од вентилатора, филтера, водича протока ваздуха и других компоненти. Хепа филтер је најважнија гаранција за чисту просторију за постизање потребне чистоће која захтева дизајн. Материјал филтера ће такође утицати на униформност проточног поља. Када се груби филтер материјал или проточна плоча додате у утичницу филтра, поље излазног протока може се лако направити уједначен.
2 Утицај интерфејса брзине са различитом чистоћом
У истој чистој соби, између радне површине и не-радне површине са вертикалним једносмерно протоком, због разлике у брзини ваздуха на хеПА кутију ће се појавити на интерфејсу, а овај интерфејс ће постати бурна Зона протока ваздуха. Интензитет ваздушне турбуленције је посебно јак, а честице се могу пренијети на површину машине за опрему и контаминирати опрему и вафле.
3. Утицај на особље и опрему
Када је чиста соба празна, карактеристике протока ваздуха у соби углавном испуњавају пројектне захтеве. Једном када опрема уђе у чисту собу, потезе људи, а производи се превозе, неминовно је препрека организацији протока ваздуха, попут оштрих тачака који су извукли из машине за опрему. На угловима или ивицама, гас ће се преусмерити да формира бурну површину протока, а течност у области неће се лако однијети долазним гасом, на тај начин изазивајући загађење.
У исто време, површина механичке опреме ће се загрејати због континуиране операције, а температурни градијент ће изазвати подручје за обраћање у близини машине, што повећава акумулацију честица у области рефла-а. Истовремено, висока температура ће лако изазвати да честице побјегну. Двоструки ефекат се појачава укупни вертикални слој. Потешкоће са контролом чистоће тока. Прашина од оператора у чистој соби може се лако придржавати вафла у овим подражајима.
4. Утицај повратног ваздушног под
Када је отпор повратног ваздуха који пролази кроз под, догодити се разлика притиска, узрокујући да ваздух прориси у правцу малог отпора, а уједначен проток ваздуха неће се добити. Тренутни популарни метод дизајна је да се користи повишени под. Када је омјер отварања повишеног пода 10%, брзина протока ваздуха може се равномерно дистрибуирати на радној висини у затвореном простору. Поред тога, строгу пажњу треба посветити чишћењу рада како би се смањио извор загађења на поду.
5. Индукциони феномен
Такозвана феномен индукције односи се на феномен генерисања протока ваздуха у супротном смеру до униформне протока, индукује прашину која се генерише у соби или прашини у суседним контаминираним подручјима до натечене стране, чиме се прашина загађује да се прашина затражи. Могуће појаве индуковане укључују следеће:
(1) слепа плоча
У чистој соби са вертикалним једносмјерним током, због зглобова на зиду, углавном постоје велике слепе плоче које ће произвести бурну проток и локални повратни ток.
(2) лампе
Осветљење учвршћивања у чистој соби имаће већи утицај. Пошто топлота флуоресцентне лампе узрокује пораст ваздуха, флуоресцентна лампица неће постати бурна површина. Генерално, лампе у чистој соби дизајниране су у облику сузе да би се смањила утицај лампица на организацију протока ваздуха.
(3) празнине између зидова
Када постоје празнине између преградног зидова или плафона са различитим захтевима чистоће, прашина из области са ниским захтевима чистоће може се пренијети у суседне области са високим захтевима чистоће.
(4) удаљеност између механичке опреме и под или зида
Ако је јаз између механичке опреме и под или зида мали, појавити се оповргава турбуленција. Због тога оставите јаз између опреме и зида и подигните платформу машине да бисте избегли директан контакт са земљом.
Вријеме поште: Нов-02-2023