Заштити животне средине се посвећује све већа пажња, посебно са порастом измаглице.Инжењеринг чистих соба је једна од мера заштите животне средине.Како користити инжењеринг чистих просторија за добар посао у заштити животне средине?Хајде да причамо о контроли у инжењерингу чистих соба.
Контрола температуре и влажности у чистој просторији
Температура и влажност чистих простора углавном се одређују на основу захтева процеса, али када се испуњавају захтеви процеса, треба узети у обзир људски комфор.Са побољшањем захтева за чистоћом ваздуха, постоји тренд пооштравања захтева за температуру и влажност у процесу.
Као општи принцип, због све веће прецизности обраде, захтеви за опсег температурних флуктуација постају све мањи и мањи.На пример, у процесу литографије и експозиције велике производње интегрисаних кола, разлика у коефицијенту топлотног ширења између стаклених и силицијумских плочица које се користе као материјали за маске постаје све мања.
Силицијумска плочица пречника 100 μм изазива линеарну експанзију од 0,24 μм када температура порасте за 1 степен.Због тога је неопходна константна температура од ± 0,1 ℃, а вредност влажности је углавном ниска јер ће након знојења производ бити контаминиран, посебно у радионицама полупроводника које се плаше натријума.Ова врста радионице не би требало да прелази 25℃.
Прекомерна влажност изазива више проблема.Када релативна влажност пређе 55%, кондензација ће се формирати на зиду цеви за расхладну воду.Ако се јавља у прецизним уређајима или колима, може изазвати разне незгоде.Када је релативна влажност 50%, лако је зарђати.Поред тога, када је влажност превисока, прашина која се држи површине силицијумске плочице ће се хемијски адсорбовати на површини кроз молекуле воде у ваздуху, што је тешко уклонити.
Што је релативна влажност већа, то је теже уклонити адхезију.Међутим, када је релативна влажност испод 30%, честице се такође лако адсорбују на површини услед дејства електростатичке силе, а велики број полупроводничких уређаја је склон квару.Оптимални температурни опсег за производњу силицијумских плочица је 35-45%.
Притисак ваздухаконтролуу чистој соби
За већину чистих простора, како би се спречила инвазија спољашњег загађења, потребно је одржавати унутрашњи притисак (статички притисак) виши од спољашњег притиска (статички притисак).Одржавање разлике притиска генерално треба да буде у складу са следећим принципима:
1. Притисак у чистим просторима треба да буде већи од притиска у нечистим просторима.
2. Притисак у просторима са високим нивоом чистоће треба да буде већи од притиска у суседним просторима са ниским нивоом чистоће.
3. Врата између чистих просторија треба отворити према просторијама са високим нивоом чистоће.
Одржавање разлике притиска зависи од количине свежег ваздуха, који треба да буде у стању да компензује цурење ваздуха из отвора испод ове разлике притиска.Дакле, физичко значење разлике притиска је отпор цурења (или инфилтрације) протока ваздуха кроз различите празнине у чистој просторији.
Време поста: 21. јул 2023