Заштита животне средине се све више пажње посвећује, посебно са повећањем измагличастог времена. Инжењеринг чистих соба је једна од мера заштите животне средине. Како користити инжењеринг чистих соба да би се добро обавио посао у заштити животне средине? Хајде да разговарамо о контроли у инжењерингу чистих соба.
Контрола температуре и влажности у чистој соби
Температура и влажност чистих простора се углавном одређују на основу захтева процеса, али приликом испуњавања захтева процеса треба узети у обзир људску удобност. Са побољшањем захтева за чистоћу ваздуха, постоји тренд строжих захтева за температуру и влажност у процесу.
Као општи принцип, због све веће прецизности обраде, захтеви за опсег температурних флуктуација постају све мањи и мањи. На пример, у процесу литографије и експозиције у производњи интегрисаних кола великих размера, разлика у коефицијенту термичког ширења између стаклених и силицијумских плочица које се користе као материјали за маске постаје све мања.
Силицијумска плочица пречника 100 μm изазива линеарно ширење од 0,24 μm када температура порасте за 1 степен. Због тога је неопходна константна температура од ± 0,1 ℃, а вредност влажности је генерално ниска јер ће се производ контаминирати након знојења, посебно у полупроводничким радионицама које се плаше натријума. Ова врста радионице не би требало да прелази 25 ℃.
Прекомерна влажност изазива више проблема. Када релативна влажност пређе 55%, кондензација ће се формирати на зиду цеви за хлађење. Ако се то деси у прецизним уређајима или колима, може изазвати разне незгоде. Када је релативна влажност 50%, лако је рђати. Поред тога, када је влажност превисока, прашина која се лепи за површину силицијумске плочице ће се хемијски адсорбовати на површини путем молекула воде у ваздуху, што је тешко уклонити.
Што је релативна влажност већа, теже је уклонити адхезију. Међутим, када је релативна влажност испод 30%, честице се такође лако адсорбују на површини због дејства електростатичке силе, а велики број полупроводничких уређаја је склон квару. Оптимални температурни опсег за производњу силицијумских плочица је 35-45%.
Ваздушни притисакконтролау чистој соби
За већину чистих простора, како би се спречило продирање спољашњег загађења, неопходно је одржавати унутрашњи притисак (статички притисак) вишим од спољашњег притиска (статичког притиска). Одржавање разлике притиска генерално треба да буде у складу са следећим принципима:
1. Притисак у чистим просторима треба да буде виши него у нечистим просторима.
2. Притисак у просторима са високим нивоом чистоће треба да буде виши него у суседним просторима са ниским нивоом чистоће.
3. Врата између чистих просторија треба да се отварају према просторијама са високим нивоом чистоће.
Одржавање разлике притиска зависи од количине свежег ваздуха, која би требало да буде у стању да компензује цурење ваздуха из отвора под овом разликом притиска. Дакле, физичко значење разлике притиска је отпор цурењу (или инфилтрацији) протока ваздуха кроз различите отворе у чистој просторији.
Време објаве: 21. јул 2023.