Заштита животне средине плаћа се све више и више пажње, посебно са повећањем времена измасаја. Инжењеринг собе је једна од мера заштите животне средине. Како се користи чисте инжењерство у соби за добар посао у заштити животне средине? Хајде да разговарамо о контроли у очистим инжењерингу собе.
Температура и контрола влажности у чистој соби
Температура и влажност чистих простора углавном се утврђују на основу процеса захтева, али када захтеви за обраду сусрета, људско удобност треба узети у обзир. Уз побољшање захтева за чистоће ваздуха, постоји тренд строжих захтева за температуру и влажност у процесу.
Као општи принцип, због све веће прецизност обраде, захтеви за асортиман флуктуације температуре постају све мањи и мањи. На пример, у литографији и процесу експозиције великих интегрисаних циркуифа, разлика у коефицијенту термичког експанзије између стаклених и силицијума вафла који се користе као материјали за маски постају све мали.
Силиконски резитет са пречником од 100 μ М изазива линеарну експанзију од 0,24 μ м када температура порасте за 1 степен. Стога је неопходна константна температура од ± 0,1 ℃, а вредност влажности је углавном ниска јер ће се знојити, производ ће бити контаминиран, посебно у полуводичким радионицама које се плаше натријума. Ова врста радионице не сме бити већа од 25 ℃.
Прекомерна влага узрокује више проблема. Када релативност влажност прелази 55%, кондензација ће се формирати на зиду цеви за хлађење. Ако се појави у прецизним уређајима или склоповима, може проузроковати различите несреће. Када је релативна влага 50%, лако је хрђати. Поред тога, када је влажност превисока, прашина која се придржава површине силицијума резина биће хемијски адсорбује на површини кроз молекуле воде у ваздуху, што је тешко уклонити.
Што је већа релативна влага, теже је уклонити адхезију. Међутим, када је релативна влажност испод 30%, честице се такође лако адсорбују на површини због акције електростатичке силе, а велики број полуводичких уређаја склони су кварту. Оптимални температурни опсег за производњу силицијума је 35-45%.
Ваздушни притисакконтролау чистој соби
За већину чистих простора, како би се спречило спољно загађење од напада, потребно је одржавати унутрашњи притисак (статички притисак) већи од спољног притиска (статички притисак). Одржавање разлике притиска требало би углавном да се придржава следећих принципа:
1. Притисак у чистим просторима треба да буде већи од оног у нечићим просторима.
2 Притисак у просторима са високим нивоом чистоће треба да буде већи од оног у суседним просторима са ниским нивоом чистоће.
3. Врата између чистих соба треба да се отвори за собе са високим нивоом чистоће.
Одржавање разлике притиска зависи од количине свежег ваздуха, који би требао бити у могућности да надокнади пропуштање ваздуха од јаза под овом разликом притиска. Дакле, физичко значење разлике притиска је отпорност протока цурења (или инфилтрације) кроз различите празнине у чистој соби.
Вријеме поште: ЈУЛ-21-2023