Чисте собе се називају и просторије без прашине. Користе се за испуштање загађивача као што су честице прашине, штетни ваздух и бактерије у ваздух унутар одређеног простора, и за контролу унутрашње температуре, чистоће, унутрашњег притиска, брзине протока ваздуха и расподеле протока ваздуха, буке, вибрација, осветљења и статичког електрицитета у одређеном опсегу. У наставку су углавном описана четири неопходна услова за постизање захтева за чистоћом у мерама пречишћавања чистих соба.
1. Чистоћа довода ваздуха
Да би се осигурало да чистоћа доводног ваздуха испуњава захтеве, кључне су перформансе и инсталација завршног филтера система за пречишћавање. Завршни филтер система чисте собе генерално користи хепа филтер или суб-хепа филтер. Према националним стандардима, ефикасност хепа филтера је подељена у четири степена: Класа А је ≥99,9%, Класа Б је ≥99,99%, Класа Ц је ≥99,999%, Класа Д је (за честице ≥0,1μm) ≥99,999% (познати и као ултра-хепа филтери); суб-хепа филтери су (за честице ≥0,5μm) 95~99,9%.
2. Организација протока ваздуха
Организација протока ваздуха у чистој просторији разликује се од оне у општој климатизованој просторији. Она захтева да се најчистији ваздух прво доведе у оперативни простор. Његова функција је да ограничи и смањи контаминацију објеката који се обрађују. Различите организације протока ваздуха имају своје карактеристике и обим: Вертикални једносмерни проток: Оба могу да постигну равномерни силазни проток ваздуха, олакшају распоред процесне опреме, имају јаку способност самопречишћавања и могу поједноставити уобичајене објекте као што су лични објекти чистих просторија. Четири методе довода ваздуха такође имају своје предности и мане: потпуно покривени хепа филтери имају предности ниског отпора и дугог циклуса замене филтера, али је конструкција плафона сложена, а трошкови високи; предности и мане бочно покривеног горњег испорука хепа филтера и горњег испорука са горњим отвором плоче са пуним отвором су супротне предностима и манама потпуно покривеног горњег испорука хепа филтера. Међу њима, горњи испорука са горњим отвором плоче са пуним отвором је склона накупљању прашине на унутрашњој површини отвора плоче када систем не ради континуирано, а лоше одржавање ће имати одређени утицај на чистоћу; Густи дифузор са горње стране захтева слој за мешање, тако да је погодан само за високе чисте просторије преко 4 м, а његове карактеристике су сличне онима код горњег испорука плоча са пуним отворима; метод повратног ваздуха за плоче са решеткама са обе стране и излазима за повратни ваздух равномерно распоређеним на дну зидова са обе стране погодан је само за чисте просторије са нето размаком мањим од 6 м са обе стране; излази за повратни ваздух на дну једностраног зида погодни су само за чисте просторије са малим размаком између зидова (као што је ≤2~3 м). Хоризонтални једносмерни ток: само прва радна зона достиже ниво чистоће од 100. Када ваздух струји на другу страну, концентрација прашине постепено расте. Стога је погодан само за чисте просторије са различитим захтевима за чистоћу за исти процес. Локална расподела хепа филтера на зиду за довод ваздуха може смањити употребу хепа филтера и уштедети почетна улагања, али постоје вртлози у локалним подручјима. Турбулентни проток ваздуха: Карактеристике горњег испорука отвора плоча и горњег испорука густих дифузора су исте као оне горе наведене. Предности бочног испоручивања су једноставно распоређивање цевовода, одсуство техничког међуслоја, ниска цена и погодно за реновирање старих фабрика. Мане су што је брзина ветра у радном подручју велика, а концентрација прашине на страни низ ветар је већа него на страни уз ветар. Горње испоручивање излаза хепа филтера има предности једноставног система, нема цевовода иза хепа филтера и чист проток ваздуха се директно испоручује у радно подручје, али чист проток ваздуха се споро шири и проток ваздуха у радном подручју је равномернији. Међутим, када је више излаза за ваздух равномерно распоређено или се користе излази хепа филтера са дифузорима, проток ваздуха у радном подручју такође може бити равномернији. Међутим, када систем не ради континуирано, дифузор је склон накупљању прашине.
3. Запремина довода ваздуха или брзина ваздуха
Довољна запремина вентилације служи за разблаживање и уклањање загађеног ваздуха у затвореном простору. Према различитим захтевима за чистоћу, када је нето висина чисте просторије велика, учесталост вентилације треба на одговарајући начин повећати. Међу њима, запремина вентилације чисте просторије од 1 милион се сматра системом чистих просторија високе ефикасности, а остале се сматрају системом чистих просторија високе ефикасности; када су хепа филтери чисте просторије класе 100.000 концентрисани у машинској просторији или се суб-хепа филтери користе на крају система, учесталост вентилације се може на одговарајући начин повећати за 10% до 20%.
4. Статичка разлика притиска
Одржавање одређеног позитивног притиска у чистој просторији један је од битних услова како би се осигурало да чиста просторија није загађена или да је мање загађена како би се одржао пројектовани ниво чистоће. Чак и за чисту просторију са негативним притиском, мора постојати суседна просторија или апартман са нивоом чистоће који није нижи од њеног нивоа како би се одржао одређени позитивни притисак, тако да се може одржати чистоћа чисте просторије са негативним притиском. Вредност позитивног притиска у чистој просторији односи се на вредност када је унутрашњи статички притисак већи од спољашњег статичког притиска када су сва врата и прозори затворени. То се постиже тако што је запремина довода ваздуха система за пречишћавање већа од запремине повратног и запремине издувног ваздуха. Да би се осигурала вредност позитивног притиска у чистој просторији, најбоље је међусобно блокирати вентилаторе за довод ваздуха, повратни и издувни вентилатор. Када се систем укључи, прво се покреће вентилатор за довод, а затим се покрећу вентилатор за поврат и издувни вентилатор; када се систем искључи, прво се искључује издувни вентилатор, а затим се искључују вентилатор за поврат и издувни вентилатор како би се спречило загађење чисте просторије када се систем укључује и искључује. Запремина ваздуха потребна за одржавање позитивног притиска у чистој просторији углавном је одређена непропусношћу конструкције за одржавање. У раној фази изградње чистих просторија у Кини, због лоше непропусности конструкције заштитног простора, било је потребно 2~6 пута/х довода ваздуха да би се одржао позитиван притисак од ≥5Pa; тренутно је непропусност конструкције за одржавање знатно побољшана и потребно је само 1~2 пута/х довода ваздуха да би се одржао исти позитивни притисак; потребно је само 2~3 пута/х довода ваздуха да би се одржао ≥10Pa. Националне спецификације пројектовања прописују да разлика статичког притиска између чистих просторија различитих нивоа и између чистих и нечистих просторија не сме бити мања од 0,5mmH2O (~5Pa), а разлика статичког притиска између чисте просторије и спољашњег простора не сме бити мања од 1,0mmH2O (~10Pa).
Време објаве: 03.03.2025.