Стопа приноса чипова у ИЦ производној индустрији уско је повезана са величином и бројем честица ваздуха депонована на чипу. Добра организација за ваздух може да узме честице које је створило извор прашине да би се осигурала чистоћа чистоће, односно организација протока ваздуха у чистој соби игра виталну улогу у стопи приноса у стопи приноса у стопи приноса. Дизајн организације протока ваздуха у чистој соби треба да постигне следеће циљеве: Смањите или елиминишите Едди струју у области протока како би се избегло задржавање штетних честица; Одржавајте одговарајући градијент позитивног притиска да бисте спречили унакрсну контаминацију.
Сила за проток ваздуха
Према принципу чисте собе, снаге које делују на честице укључују масовну силу, молекуларна сила, атракција између честица, протока ваздуха итд.
Снала за ваздух: Односи се на снагу протока ваздуха узрокована испоруком, повратним протоком ваздуха, термичким конвекцијом протоком ваздуха, вештачким мешањем и другим протоцима протока са одређеном брзином протока за ношење честица. За техничку контролу животне средине чистог собе, снага ваздуха је најважнији фактор.
Експерименти су показали да у покрету протока ваздуха, честице прате покрет ваздуха на готово исту брзину. Стање честица у ваздуху одређује се дистрибуцијом протока ваздуха. Профил који утичу на унутрашњу честице углавном укључују: ваздушни проток ваздуха (укључујући примарни проток ваздуха и секундарни проток ваздуха), проток ваздуха и термички концикцијски проток протока људи који проузрокују људи који ходају и проток ваздуха проузроковане протоком пролаза и индустријски проток пролаза. Различите методе снабдевања ваздухом, интерфејси брзине, оператери и индустријска опрема и индуковане појаве у чистим собама су сви фактори који утичу на ниво чистоће.
Фактори који утичу на организацију протока ваздуха
1. Утицај методе снабдевања ваздухом
(1). Брзина снабдевања ваздухом
Да би се осигурала уједначена протока ваздуха, брзина снабдевања ваздухом мора бити уједначена у једносмерном чистој соби; Мртва зона површине ваздуха мора бити мала; А пад притиска у УЛПА такође мора бити уједначен.
Уједначена брзина снабдевања ваздухом: то је, неравнина протока ваздуха контролише се у оквиру ± 20%.
Мање мртва зона на површини снабдевања ваздухом: не само да се равна површина УЛПА фрама смањи, али што је још важније, модуларни ФФУ треба усвојити да поједностави редукциони оквир.
Да би се осигурао вертикални једносмерно проток ваздуха, избор притиска филтера је такође веома важан, што захтева да губитак притиска у филтеру не може одступити.
(2). Поређење између система ФФУ система и аксијалног протока
ФФУ је јединица за снабдевање ваздухом са вентилатором и филтер (УЛПА). Након што се ваздух усисава центрифугални вентилатор ФФУ-а, динамички притисак се претвара у статички притисак у ваздушном каналу и равномерно разнесе у УлПА. Притисак на плафонски притисак на плафону је негативан притисак, тако да неће процурити прашину у чисту собу када је филтер замењен. Експерименти су показали да је ФФУ систем супериорнији од система вентилатора аксијалног протока у погледу униформности ваздуха, паралелизмом протока ваздуха и индекс индекса ефикасности вентилације. То је зато што је паралелизам протока ваздуха ФФУ система бољи. Употреба ФФУ система може учинити проток ваздуха у чистој соби боље организована.
(3). Утицај сопствене структуре ФФУ-а
ФФУ се углавном састоји од фанова, филтера, уређаја за водилице за ваздух и друге компоненте. Ултра-високи филтер за ефикасност УЛПА је најважнија гаранција да ли чиста соба може постићи потребну чистоћу дизајна. Материјал филтера ће такође утицати на униформност проточног поља. Када се додаје груби филтерски материјал или ламинарна плоча протока у утичницу филтра, поље излазног протока може се лако направити уједначен.
2 Утицај различитих интерфејса брзине чистоће
У истој чистој соби, између радног подручја и нерадне површине вертикалног немикалног протока, због разлике у брзини ваздуха на УлПА утичницу, генерисат ће се мешовити вртложни ефекат, а овај интерфејс ће постати турбулентан Зона протока ваздуха са посебно високом интензитетом ваздушног турбуленције. Честице се могу пренијети на површину опреме и контаминирати опрему и вафле.
3. Утицај особља и опреме
Када је чиста соба празна, карактеристике протока ваздуха у соби углавном испуњавају пројектне захтеве. Једном када опрема уђе у чисту собу, преносе се кретање особља и производи, неминовно ће бити препрека организацији протока ваздуха. На пример, на избоченим угловима или ивицама опреме, гас ће се преусмерити да формира турбулентну зону, а течност у зони се не може лако однијети гасом, на тај начин узрокује загађење. Истовремено, површина опреме ће се загревати због континуиране операције, а температурни градијент ће изазвати зону за рефлацију у близини машине, која ће повећати накупљање честица у зони рефловске зоне. Истовремено, висока температура ће лако изазвати да честице побјегну. Двоструки ефекат погоршава потешкоће у контроли целокупне вертикалне ламинарно чистоће. Прашина од оператора у чистој соби се врло лако придржава вафла у овим зонама за преусмјеравање.
4. Утицај повратног ваздушног под
Када је отпорност повратног ваздуха који пролази кроз под, створиће се разлика притиска, тако да ће ваздух тећи у правцу мање отпорности и уједначен проток ваздуха неће се добити. Тренутни популарни метод дизајна је да се користи повишени подови. Када је отватна брзина повишених подова 10%, брзина протока ваздуха у радној висини собе може се равномерно дистрибуирати. Поред тога, строгу пажњу треба посветити чишћењу рада како би се смањио извор загађења пода.
5. Индукциони феномен
Такозвана феномен индукције односи се на феномен да се проток ваздуха у супротном смеру уједначеног протока генерише, а прашина произведена у соби или прашину у суседном контаминираном подручју изазвана је на радној страни, тако да прашина може да контаминира чип. Следе могуће феномен индукције:
(1). Слепи тањир
У чистој соби са вертикалним једносмерно протоком, због зглобова на зиду, углавном постоје велике слепе плоче које ће створити турбуленцију у локалном повратном протоку.
(2). Лампе
Осветљење учвршћивања у чистој соби имаће већи утицај. Пошто топлота флуоресцентних сијалица узрокује пораст ваздуха, неће бити нетрбилног подручја под флуоресцентним сијама. Генерално, лампе у чистој соби дизајниране су у облику сузе да би се смањила утицај лампица на организацију протока ваздуха.
(3.) Празнине између зидова
Када постоје празнине између партиција са различитим нивоима чистоће или између партиција и плафона, прашина са ниске захтеве за чистоће може се пренијети у суседно подручје са високом чистоћом захтевима чистоће.
(4). Удаљеност између машине и под или зида
Ако је јаз између машине и под или зида врло мали, то ће изазвати оповргну турбуленцију. Због тога оставите јаз између опреме и зида и подићи машину да не бисте омогућили да машина директно додирне земљу.
Вријеме поште: феб-05-2025