Важан део чисте собе су објекти за заштиту од пожара. Њен значај није само зато што су њена процесна опрема и грађевински пројекти скупи, већ и зато што су чисте просторије релативно затворене зграде, а неке су чак и радионице без прозора. Пролази у чистим собама су уски и вијугави, што отежава евакуацију особља и подучавање ватре. Да би се обезбедила безбедност живота и имовине људи, у пројекту треба применити политику заштите од пожара „превенција прво, комбиновање превенције и пожара“. Поред предузимања ефикасних мера за спречавање пожара у пројектовању чисте просторије, постављени су и неопходни противпожарни објекти. Производне карактеристике чистих просторија су:
(1) Постоји много прецизне опреме и инструмената, а користе се различити запаљиви, експлозивни, корозивни и токсични гасови и течности. Опасност од пожара неких производних делова припада категорији Ц (као што је оксидациона дифузија, фотолитографија, јонска имплантација, штампање и паковање, итд.), а неки припадају категорији А (као што је извлачење монокристала, епитаксија, хемијско таложење паре итд. .).
(2) Чиста соба је веома непропусна. Када избије пожар, биће тешко евакуисати особље и угасити ватру.
(3) Трошкови изградње чисте собе су високи, а опрема и инструменти су скупи. Када избије пожар, економски губици ће бити огромни.
На основу наведених карактеристика, чисте просторије имају веома високе захтеве за заштиту од пожара. Поред противпожарне заштите и система водоснабдевања, потребно је поставити и фиксне уређаје за гашење пожара, посебно вредну опрему и инструменте у чистој просторији треба пажљиво одредити.
Време поста: Апр-11-2024