Постројења за заштиту од пожара су важан део чисте собе. Његов значај није само зато што су његова процесна опрема и грађевински пројекти скупи, већ и зато што су чисте собе релативно затворене зграде, а неки су чак и радне радионице без прозора. Проласци чистих простора су уски и мучни, отежавајући евакупцију особља и подучавати ватру. Да би се осигурала сигурност живота и имовине људи, у дизајну треба применити политику заштите од пожара "превенција, превенција, комбиновање превенције и пожара". Поред тога што су предузеле мере превенције пожара у дизајну чисте собе, осим тога, постављају се и потребни пожарни објекти. Карактеристике производње чистих просторија су:
(1) Постоји много прецизне опреме и инструмената и користе се разне запаљиве, експлозивне, корозивне и токсичне гасове и течности. Опасност од пожара неких производњи припада категорији Ц (као што је дифузија оксидације, фотолиттографија, ионска имплантација, штампање и паковање итд.), А неки припадају категорији А (као што је појединачна кристално повлачење, епитакксија, хемијска таложење паре, епитакса .).
(2) Чист соба је врло зрачна. Једном када се пожара избије, биће тешко евакуисати особље и угасити ватру.
(3) Циљни трошкови чисте собе је висок и опрема и инструменти су скупи. Једном када се пожара избије, економски губици ће бити огроман.
На основу горе наведених карактеристика, чисте собе имају веома високе захтеве за заштиту од пожара. Поред заштите од пожара и водовода, требало би да буду постављени и уређаји за гашење пожара, посебно драгоцена опрема и инструменти у чистој соби потребно је пажљиво утврдити.
Вријеме поште: АПР-11-2024