Поред строге контроле честица, електронске чисте собе заступљене од стране радионица за производњу чипа, интегрисане радионице без прашине и радионице за производњу прашине такође имају строже захтеве за температуру и контролу влажности, осветљење и микро-шок. Строго уклањају утицај статичке електричне енергије на производне производе, тако да окружење може да испуни захтеве за производњу процеса електронских производа у чистом окружењу.
Температура и влажност електронске чисте собе треба одредити у складу са захтевима за производњу процеса. Када не постоје посебне захтеве за производњу, температура може бити 20-26 ° Ц, а релативна влажност је 30% -70%. Температура особља чисте собе и дневног боравка може бити 16-28 ℃. Према кинеском националном стандарду ГБ-50073, који је у складу са међународним ИСО стандардима, ниво чистоће ове врсте чисте собе је 1-9. Међу њима, класа 1-5, узорак протока ваздуха је једносмерно проток или мешовити проток; Образац протока ваздуха 6 класе је необичан проток и промена ваздуха је 50-60 пута / х; Класа 7 Тип протока ваздуха је необичан проток, а промјена ваздуха је 15-25 пута / х; Класа 8-9 Тип протока ваздуха није необичан проток, промена ваздуха је 10-15 пута / х.
Према тренутним спецификацијама, ниво буке у класи 10.000 електронских чистих собе не сме бити већи од 65 дБ (а).
1. Потпуни омјер вертикалне проточне собе у електроничкој чистиној соби не сме да буде мањи од 60%, а хоризонтални једносмерни проток не би требало да буде мањи од 40%, иначе ће бити делимичан једносмерни проток.
2 Статички разлика притиска између електронске чисте собе и на отвореном не би требало да буде мања од 10А, а разлика у статичком притиску између чистих подручја и не-чистих подручја са различитим чистоћом ваздуха не сме бити мања од 5ПА.
3. Количина свежег ваздуха у класу 10000 Електронска чиста соба треба да преузме вредност следеће две ставке.
4. Надокнадити збир запремине ваздуха у затвореном ваздуху и свежним количинским количинама потребне за одржавање у затвореном вредности у затвореном простору.
5. Осигурајте да количина свежег ваздуха испорученог за чисту собу по особи на сат не мање од 40 квадратних метара.
Вријеме поште: АПР-08-2024